喷雾热分解法制备ZnO系低压压敏薄膜

摘要：

首次利用喷雾热分解法成功地制备出低压ZnO压敏薄膜.沉积温度350 ℃,沉积时间2 h;退火温度650 ℃,退火时间1 h.X射线分析表明薄膜经退火后已良好晶化.其非线性系数α为8.09;压敏电压V1mA为13.15 V.实验表明通过制备ZnO薄膜可得到较低的压敏电压.

关键词：氧化锌、低压压敏薄膜、喷雾热分解

所属期刊栏目：27

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家西部之光人才培养计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：505-507