溶胶-凝胶法制备PZT薄膜晶化过程的跟踪监测

摘要：

用溶胶-凝胶技术制备了组成在准同型相界点[m(Zr)/m(Ti)=52/48]附近的钙钛矿相PZT薄膜,并运用原子力显微分析与椭偏法测试相结合的方法跟踪了薄膜的烧结过程. 结果表明:钙钛矿相PZT[m(Zr)/m(Ti)=52/48]薄膜晶化发生于约550 ℃,并伴随着薄膜表面的粗糙化;镀铂硅基片表面粗糙度对PZT薄膜的晶化有很大影响. 根据AFM,XRD 测试结果,分析了不同热处理条件对PZT薄膜微结构及漏电流特性的影响,提出合适的热处理条件. 分析了PZT薄膜钙钛矿相形成温度高于相应粉体的原因.

关键词：溶胶-凝胶法、PZT薄膜、快速热处理、显微结构、结晶

所属期刊栏目：27

分类号：O795(晶体物理化学过程)

资助基金：国防科工委科研项目960921-0114201

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：193-201