溶胶-凝胶法制备TiO2-SiO2复合薄膜的波导特性研究

摘要：

研究了采用溶胶-凝胶法制备的TiO2-SiO2复合薄膜的波导特性. 结果表明随着TiO2含量和热处理温度的提高,薄膜的波导损耗增大. FT_IR光谱,XRD和AFM分析表明:这种损耗主要来自于薄膜中的微区不均匀和由于薄膜表面的粗糙度增大而产生的光散射的影响. 通过透射光谱计算得到了薄膜的折射率和消光系数的色散关系以及它们与工艺之间的关系.

关键词：溶胶-凝胶、薄膜、折射率、结构、波导损耗

分类号：O482;TQ174.13(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：674-678