PZT薄膜的MOD制备及形成机理研究

摘要：

采用金属有机物热分解(MOD)工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备锆钛酸铅(PZT)薄膜. XRD分析显示薄膜结晶状况良好,无焦绿石相存在. AES测量表明:薄膜成分沿膜厚均匀分布,膜中无碳存在,表面不富含铅. 分析了薄膜的形成机理,定性地解释了晶粒的生长过程.

关键词：锆钛酸铅薄膜、金属有机物热分解、形成机理、晶粒生长

分类号：TQ174.758

资助基金：中国科学院资助项目59582011

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：592-597