初始硅粉粒度对自蔓延高温合成氮化硅的影响

摘要：

研究了平均粒度分别为2,7.8和15.4 μm的3种初始硅粉在氮气中的燃烧氮化规律. 初始硅粉粒度越细,则在氮气中的燃烧温度就越高,燃烧波蔓延速度越快,激活能也越低;较细的硅粉表面的硅蒸发通量大,psi高,易于形成延长方向与硅粉表面垂直的针状或柱状、纤维状晶体;而较粗的硅粉则易于形成氮化硅包覆层,且可以通过"包覆爆裂"机制继续进行二次氮化. 较细的硅粉在氮气中的燃烧温度曲线上只出现一次燃烧峰,而较粗的硅粉却出现二次燃烧峰,硅粉越细,燃烧后产物中的α-Si3N4量就越低.

关键词：自蔓延高温合成、氮化硅、硅粉粒度

分类号：TQ038;TQ174.758(一般性问题)

资助基金：中国科学院资助项目59172079

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：551-557