CVD法合成的无定型纳米粉体的晶化

摘要：

以六甲基二硅氨烷(HMDS)为原料,采用CVD方法,在不同温度下合成的粉体,经XRD测定,确定为无定型. 经不同温度晶化处理后,发现1000℃时合成粉体随着晶化温度的提高,颗粒长大并变长,接近哑铃状. 经1500℃晶化处理后,颗粒呈晶须状,而经1600℃处理后才完全晶化. 1400℃合成的粉体则随着晶化处理温度的提高,局部的颗粒长大,温度愈高,长大的颗粒愈多. 经1500℃晶化处理后,从XRD,TEM及HREM可以看出粉体全部晶化,颗粒的结晶已非常完整,晶格网络清晰可见,颗粒度约为20-40nm,外表面有一层1-2nm的膜包裹.

关键词：化学气相沉积法、纳米、晶化、无定型、碳化硅

所属期刊栏目：26

分类号：TQ17

资助基金：国家攀登计划85-06-01

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：118