ASM2000机台机械手运行的影响因素分析

摘要：

ASM2000半导体外延设备,作为世界上硅外延材料领域的主流设备,在硅片传递过程中,以"正面、非接触式"模式,可较好地避免硅片表面缺陷的产生.在这种传递模式下,偶有硅片掉落现象发生,故障产生原因较多,造成问题处理效率低下、复机验证流程繁琐等现象.为提高机械手装取片故障处理的效率及成功率,文章将从硅片传递的工作原理开始分析,总结导致硅片掉落的可能原因,以供故障排查所用.

关键词：半导体外延设备、机械手、影响因素

所属期刊栏目：39

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2023-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,39