LPE3061机械手调节方法研究

摘要：

LPE 3061作为硅外延材料领域的主流设备,得到了世界范围内的广泛使用.本文从LPE 3061实际生产经验出发,以减少实际生产中产品缺陷、碎片为目的,根据机械手装、取片问题产生的过程、现象,对原因进行不断分析,得出结论后进行相对应的解决方案,取得了较好的结果,证明了调节方法的正确性.

关键词：材料加工工程、硅外延、机械手

所属期刊栏目：31

分类号：TP241(自动化技术及设备)

在线出版日期：2016-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-37,98