光谱仪用平场凹面光栅的凸面母光栅的消像差设计思路

摘要：

平场全息凹面光栅是光谱仪中的核心元件之一,其成像质量和衍射效率直接影响了光谱仪的分辨率和光能利用率.利用凸面母光栅复制制作凹面光栅,便于在凸面基底上进行离子束刻蚀以获得高的衍射效率.为了保证复制的凹面光栅具有高的成像质量,文章提出一种全息凸面光刻胶光栅的消像差设计方法,优化中考虑了凸面基底对记录光束的折射效应以及由基底折射率所引入的附加光程.通过将"光程函数级数展开法"和ZEMAX光学没计软件相结合,采用粗精两步优化的方法,显著提高了优化的效率和成功率.ZEMAX对比仿真结果显示,复制得到的凹面光栅与传统直接采用全息法制作的凹面光栅的成像质量是相当的.

关键词：衍射光栅、平场凹面光栅、凸面光栅、消像差设计

所属期刊栏目：29

分类号：O433.4(光学)

资助基金：国家科技部项目2004BA210A06

在线出版日期：2009-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2281-2285