表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析

摘要：

本文使用Raman光谱和X-射线光电子能谱(XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究.采用4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理,并由此对膜中sp3键的百分含量PD进行了定量计算;同时还采用3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算.两种方法均得到膜中sp3含量在20%～40%之间,且随沉积时间的增加而增加.

关键词：类金刚石、Raman光谱、XPS、sp3

所属期刊栏目：23

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金19835030

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：512-514