反射干涉光谱法测量固体薄膜的光学常数和厚度

摘要：

本文报道一种简单的方法,从平面介质薄膜的反射干涉光谱来计算薄膜的光学常数和厚度.当一束光照射在基板上的介质膜上时,由于膜上下界面反射光的相干,会使反射光谱的曲线有一定的波动.我们对反射相干光谱进行理论分析,给出计算公式,从测量曲线中的实验值得出薄膜的光学常数n、k以及厚度等参数.此种方法简单可行,而且易于编程处理.

关键词：薄膜、反射干涉光谱、折射率、厚度

所属期刊栏目：20

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2007-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：283-285