金属诱导低温制备多晶硅薄膜工艺新进展

摘要：

多晶硅薄膜由于兼具稳定性、高光敏性、便于大面积沉积等优势成为目前光伏领域的研究热点.本文综述了近几年金属诱导非晶硅薄膜晶化的新工艺,介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构、金属含量的调控规律.最后展望了未来的发展趋势.

关键词：金属诱导晶化、非晶硅、多晶硅薄膜

所属期刊栏目：30

分类号：O433.5+9;O743+4(光学)

资助基金：中国地质大学北京大学生A类创新实验项目2012AG0078;中央高校基本科研业务费项目2012070

在线出版日期：2013-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2246-2250