二氧化钛薄膜的制备及退火对其形貌、结构的影响

摘要：

利用磁控溅射技术,在石英基片上沉积Ti膜,分别在400、600、700、900℃的大气中退火获得TiO2薄膜.采用这种制备方式获得的TiO2薄膜呈现不同的颜色,退火温度为400℃的样品为暗紫红色,600℃时为黑色,而在700℃和900℃时均为黄色.采用X射线衍射、扫描电子显微镜( SEM)以及Raman光谱等手段研究了退火温度对TiO2薄膜的结构和形貌的影响.结果表明:退火温度为400℃时,TiO2薄膜为锐钛矿相,温度升高至600℃时,几乎转变为金红石晶相,但仍存在微量锐钛矿相,温度升高至700℃以上,则完全转变为金红石晶相.由XRD衍射图可知退火温度为700℃和900℃时,薄膜的金红石相沿(101)晶面择优取向.

关键词：二氧化钛薄膜、退火温度、锐钛矿、金红石

所属期刊栏目：28

分类号：O657.37;O434.13(分析化学)

资助基金：中国地质大学北京大学生创新性实验计划项目51900265029;中国地质大学北京矿物岩石材料开发应用国家专业实验室开放课题09A004

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2961-2964