基于衍射光谱的孔径平面结构测量研究

摘要：

提出衍射光谱的一种新应用,通过直接测量宽频带光源在远场一空间位置处的衍射光谱,获得孔径阵列平面的结构信息,这种方法能适用于任何一种不同标准和尺寸的孔径阵列平面结构的测量.

关键词：衍射光谱、孔径阵列、傅里叶变换、远场

所属期刊栏目：28

分类号：O433.5+9(光学)

资助基金：人工智能高校重点实验室科研基金2009R2003

在线出版日期：2011-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：175-178