薄膜材料的椭圆偏振数据分析方法

摘要：

椭圆偏振的数据处理一直存在很多困难,本文是作者从事椭偏数据分析工作的经验总结.介绍了椭偏数据分析中光谱选择范围的依据,提出了初步判别材料性质的方法.研究了一些常用模型及其应用范围,阐述了针对不同类型样品的数据分析方法,并分析了初始参数对分析结果的影响,为椭圆偏振的数据分析提供了快速易行的方法.

关键词：椭偏术、椭圆偏振仪、模型、薄膜、光学常数

所属期刊栏目：27

分类号：O657.39(分析化学)

在线出版日期：2010-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：66-76