发射光谱法研究CaO对等离子体刻蚀废气的吸收作用

摘要：

以CF4/Ar作为等离子体刻蚀废气的模拟气体,经电感耦合等离子放电之后,通过CaO固体粉末进行废气的吸收,测得吸收废气的CaO的发射光谱.与模拟刻蚀废气光谱比较可知,CaO可除去废气中70%的F元素,并给出了未能全部清除的原因.

关键词：发射光谱法、等离子刻蚀、氟、废气、CaO

所属期刊栏目：22

分类号：O657.31(分析化学)

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：130-133