直流辉光等离子体辅助热丝CVD法沉积金刚石薄膜

摘要：

采用直流辉光等离子体助进热丝化学气相沉积(CVD)的方法，低温(550—620℃)沉积得到晶态金刚石薄膜。经X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)分析表明：稍高气压有利于金刚石薄膜的快速、致密生长。

关键词：化学气相沉积、低温、金刚石

所属期刊栏目：19

分类号：O434.13(光学)

资助基金：河北省自然科学基金599091

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：137-139