离子注入层的X射线光电子能谱分析

摘要：

采用金属蒸汽真空弧（MEVVA）离子源发出的强束流脉冲钨离子，对H13钢进行了离子注入表面改性研究。借助X射线光电子能谱仪（XPS）考察了注入表面层中钨、氧、铁的化学状态。研究发现，钨离子注入层中钨元素以替位钨和三氧化钨形式存在，铁元素以金属铁和三氧化二铁形式出现，而且各价态元素的原子比随深度而变化。

关键词：X射线光电子能谱、离子注入、氧化

所属期刊栏目：18

分类号：O657.62(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金59671051;南通工学院校科研和教改项目01107

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：398-400