大规模生产中的磁控溅射ZnO/Al复合背电极研究

摘要：

采用直流磁控溅射设备制备ZnO/Al复合非晶硅电池背电极,在实际生产线上研究对比了使用ZnO/Al复合背电极与Al背电极的非晶硅电池性能,实验证明ZnO/Al复合背电极能提高太阳电池的短路电流和最大功率,并通过扩展实验验证了使用ZnO/Al复合背电极电池工艺稳定性较好,适合大规模非晶硅电池生产.

关键词：非晶硅、背电极、短路电流、最大功率

所属期刊栏目：21

分类号：TN304.054(半导体技术)

在线出版日期：2015-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：94-98