高锡含量锗锡合金和镍反应的形貌研究

摘要：

本文详细研究了高锡含量锗锡合金(Ge0.92Sn0.08)与镍在退火条件下的反应.通过表层电阻测试、原子力显微镜和透射电镜等表征手段,我们分别研究了镍锗锡材料在300℃、400℃、500℃温度下退火后的表面和界面形貌.研究表明:与镍和锗反应相比,镍和锗锡材料反应生成的镍锗锡薄膜热稳定性变差,退火温度400℃后镍锗锡薄膜表层电阻就迅速增加,样品表面变得不连续,团聚为平均长度200nm左右的岛状晶粒,样品表面和界面与电学性质都遭到了破坏.

关键词：锗锡合金、镍、热稳定性

所属期刊栏目：21

分类号：TB24(工程设计与测绘)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;创新基金;上海市自然科学基金;上海市自然科学基金;资助的课题

在线出版日期：2015-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：85-89