沉积能量与沉积速率对薄膜生长形貌的影响

摘要：

本文利用各向同性的周期性四方形基底,模拟了沉积能量与沉积速率对薄膜三维形貌的影响.模型主要分析了原子沉积、吸附原子扩散和原子脱附三个过程,同时详细地考虑了四方形基底的最近邻和次近邻的影响.结果表明:沉积能量对薄膜粗糙度、衬底填充比、岛的个数都有明显的影响.沉积速率对薄膜粗糙度的影响较小,在低沉积能量下对填充比和岛的个数影响较小,在高沉积能量下对填充比和岛的个数影响较大.在高沉积能量高沉积速率下,为了提高成膜质量,同时保证成膜效率,适当降低沉积速率比适当降低沉积能量更有效.

关键词：沉积能量、沉积速率、粗糙度、填充比

所属期刊栏目：20

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61271271

在线出版日期：2015-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：127-131