基于APDL的微梳齿谐振器动态空气阻尼分析

摘要：

为分析微梳齿谐振器在空气阻尼下高频振动的动态特性,采用ANSYS参数化设计语言APDL进行编程分析,程序中将微谐振器模型简化成有面积的质量点,对质量点添加条件和约束建立分析模型,用FLUID139单元设置空气层模型,用TRANS126单元设置叉指换能模块,通过此程序求解的真空条件下的共振频率与理论分析结果基本吻合.与现有方法相比,该方法快速、实用、具有更好的适应性.

关键词：ANSYS参数化设计语言APDL、微梳齿谐振器、空气阻尼、动态特性

所属期刊栏目：20

分类号：TN603.5;O357(电子元件、组件)

在线出版日期：2015-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：122-126