一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

摘要：

介绍了一种基于光致形变聚合物材料的MEMS开关微驱动器.光致形变聚合物材料在光驱动型微执行器上的应用具有体积小、结构简单、易实现遥控等特点.根据MEMS的尺寸及性能要求建立开关及微驱动器模型,并得到所需最大驱动力.通过计算得出具有一定尺寸光致形变薄膜的等效弯曲行为,并将其应用到MEMS开关微驱动器上.运用ANSYS对微驱动器及闭锁机构仿真分析,根据仿真结果对结构进行改进,确定了采用多层薄板结构的方案,以满足最大驱动力要求.

关键词：光致形变聚合物、MEMS、开关、等效弯曲、微驱动器、ANSYS

所属期刊栏目：20

分类号：TN403(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2015-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：112-116