光学MEMS技术及其光通信应用

摘要：

O 引言
MEMS技术与光学技术的结合被称为光学MEMS(Optical MEMS),也称为MOEMS(MOEMS:Micro Opto-Electro-Mechanical System),是MEMS技术的一个重要分支.光学MEMS技术在上世纪80年代左右开始起步,至今发展已经有三十多年的历史,其技术应用主要分为光学执行器、光学传感器、光学加工制造三类.

所属期刊栏目：19

在线出版日期：2014-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：119-123