触摸屏金属桥Al膜层表面粗糙度控制及机理研究

摘要：

Al薄膜作为钼/铝/钼三层金属桥的中间层,在电容式触摸屏中起到ITO图形搭桥的作用.金属Al在可见光范围内具有较高的反射率,导致在电容屏上有金属桥的部分反射率大于周边没有金属桥的部分,影响屏幕的显示效果.为了减少Al薄膜的反射率,可以采取增大Al薄膜表面粗糙程度的办法,增加漫反射.在不同的直流磁控溅射工艺下制备了表面粗糙度不同的Al薄膜,并分析了引起粗糙度不同的原因.得出了解决金属桥影问题的工艺条件.

关键词：触摸屏、表面粗糙度、Al薄膜

所属期刊栏目：19

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60778032

在线出版日期：2014-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-9