一种制备单分散超小粒径氧化硅颗粒的新方法

摘要：

在氨水催化水解正硅酸乙酯(TEOS)过程中,采用一种新方法制备了单分散的超小粒径氧化硅.加入聚乙烯吡咯烷酮(PVP)能够有效的减小氧化硅颗粒的粒径大小,氧化硅粒径随着PVP的增加而减小.通过优化工艺参数,制备得到了单分散的、粒径只有11nm的氧化硅颗粒.而且,在相同的反应体系中,所制备的氧化硅颗粒能够作为晶种再次生长,通过滴加不同浓度的TEOS能够得到粒径大小可控的氧化硅颗粒.

关键词：单分散、超小粒径、氧化硅、PVP、TEOS

所属期刊栏目：18

分类号：O648.1(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家集成电路重大专项2011ZX02704-002,2009ZX02030-001;上海市科委0952nm00200;中国科学院外国专家特聘研究员计划的支持

在线出版日期：2012-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34