不同衬底上Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜的制备及外延生长的研究

摘要：

利用脉冲激光沉积( PLD)技术,通过一系列实验成功地制备出了近外延生长的Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜.研究了衬底对Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜外延质量的影响.从摇摆曲线的半高宽(FWHM)及原子力显微镜(AFM)图谱中可以看出,在铝酸锶钽镧(LAST)衬底上生长的薄膜,外延质量明显比失配度更小的钛酸锶(STO)衬底上生长的要好,并不是传统认为的晶格失配度越小越好,分析其原因主要是因为小的失配不利于应力的释放造成的.

关键词：衬底、Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜、脉冲激光沉积、外延生长、X射线衍射、原子力显微镜

所属期刊栏目：17

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10274026;校青年基金2007-6资助课题

在线出版日期：2012-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：569-572