电容式硅微机械陀螺仪结构设计及仿真

摘要：

通过对微机械陀螺的调研分析,提出了一种新型微机械陀螺仪,并对陀螺进行了结构设计.该结构采用静电梳齿驱动、栅结构电容检测,使陀螺具有较高灵敏度.驱动模态和检测模态均为滑膜阻尼,能够实现较高的Q值,且具有一定的解耦特性.文中通过仿真分析得到了结构的各阶频率,使陀螺驱动模态和检测模态固有频率匹配,验证了结构的合理性.结合现有加工工艺水平进行了加工,并验证了其高灵敏度特性.

关键词：硅微机械陀螺、电容检测、结构设计

所属期刊栏目：17

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

资助基金：高灵敏度多层纳米膜隧穿微陀螺仪研究50675212;重点实验室基金9140C1204021008

在线出版日期：2011-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：333-337