硅离子注入引入纳米晶对SIMOX材料进行总剂量辐射加固

摘要：

本研究工作采用硅离子注入和高温退火工艺对SIMOX材料的BOX层进行总剂量辐射加固.辐射实验结果证明了该加固方法的有效性.PL谱和HRTEM图像显示了硅离子注入及退火工艺在材料的BOX层中引入了Si纳米晶,形成电子陷阱能级,有效俘获电子,从而提高了材料BOX层的抗总剂量辐射能力.

关键词：绝缘体上硅、注氧隔离、总剂量辐照、纳米晶

所属期刊栏目：17

分类号：TB303(工程材料学)

在线出版日期：2011-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：223-226