双稳态MEMS电磁微继电器响应速度的分析

摘要：

本文设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器,并对影响其响应速度的因素进行了分析.测试后,结果表明,器件在运行过程中的脉冲间歇期间能够保持稳定状态而无需额外功耗;并且能够实现通过调节运行幅度,来提高器件的响应速度,最短的响应时间可以达到0.3ms.

关键词：微机电系统、电磁微继电器、双稳态、响应速度

所属期刊栏目：17

分类号：TB(一般工业技术)

资助基金：江苏省工业装备数字制造与控制技术重点实验室开放研究基金资助项目08B61;中科院前沿项目

在线出版日期：2011-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：87-92