一种新型电磁驱动无阀微泵的研究

摘要：

介绍了一种适用于微流体系统的电磁驱动无阀微泵.该微泵的泵腔以及扩散口和喷口都采用微机电系统(MEMS)技术进行制备,利用扁平振动马达作为驱动部件,以弹性模量较小的聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为振动膜,研制出一个尺寸为12mm×12mm×5mm的微泵.对微泵的振动频率和输出流量进行了测试,结果显示:电压对频率和流量均有显著影响.当电压为1.5V时,微泵的流量达到最大值158μL/min.

机标关键词：电磁驱动、无阀微泵、novel、聚二甲基硅氧烷、输出流量、微流体系统、微机电系统、振动频率、振动马达、驱动部件、电压、弹性模量、最大值、振动膜、扩散口、制备、研制、喷口、结果、技术

所属期刊栏目：17

分类号：TP211.3(自动化技术及设备)

资助基金：首都师范大学开放实验室基金

在线出版日期：2011-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-77