溶胶-凝胶方法制备BiFeO3薄膜的微结构和晶粒尺寸效应

摘要：

使用溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上生长不同厚度与不同稀土掺杂(Nd,Ce,La)的BiFeO3(BFO)薄膜,高分辨x射线衍射实验结果表明薄膜是由无择优取向的多晶成份组成,不同厚度和掺杂的薄膜都呈现三方相.对比不同厚度BFO薄膜的结构发现,随着薄膜厚度的增加,薄膜的晶粒尺寸呈现增大的趋势,同时晶格常数也随之增大;比较不同掺杂的薄膜,发现随掺杂原子的离子半径增大(Nd,Ce,La),薄膜的晶粒尺寸随之减小,同时薄膜的晶格参数变小.这些结果表明在BFO薄膜中存在晶粒尺寸效应,BFO的晶格随着晶粒尺寸的增大而增大.

关键词：铁电薄膜、微结构、同步辐射衍射、尺寸效应

所属期刊栏目：16

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：上海浦江人才项目07PJ14105

在线出版日期：2011-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：605-609