二氧化钒微测辐射热计的制备及工艺

摘要：

针对二氧化钒微测辐射热计在红外吸收型气体检测方面的应用,采用微电子机械系统(MEMS)体硅工艺制备了二氧化钒微测辐射热计,重点对关键工艺进行了研究;通过优化工艺参数及步骤,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;对单元器件的性能参数进行测试,结果表明,在光源调制频率为1Hz时,单元器件的响应率为18.1kV/W;探测率为1.37×108cmHz1/2/W;热时间常数为72.4ms.

关键词：二氧化钒、微测辐射热计、MEMS、红外

所属期刊栏目：16

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：南京邮电大学科研启动基金NY207029

在线出版日期：2010-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：305-310