喷雾热解法制备掺氟氧化锡导电玻璃及其性能

摘要：

采用喷雾热解法,以四氯化锡和氟化铵为原料、喷瓶为雾化装置,在载玻片上制得氟掺杂二氧化锡(fTO)透明导电薄膜.运用XRD、SEM、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪分别对薄膜进行了表征.研究了喷涂次数、衬底温度、前体浓度、掺杂浓度和醇水比对FTO薄膜光电性能的影响.结果表明,当衬底温度为500℃,SnCl4·5H2O浓度为0.81 mol/L,NH4F浓度为0.1 mol/L,醇水比为8:2,喷涂100次时,薄膜的光电性能较好,其方块电阻为13Ω/口,平均透光率为79%.

关键词：喷雾热解、二氧化锡、氟掺杂、导电玻璃

所属期刊栏目：16

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：安徽省人才开发专项资金

在线出版日期：2010-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：191-196