一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用

摘要：

生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要.石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能.本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)封装获得完整的液相混合微芯片,最后利用罗丹明B荧光染料和SiO2纳米球对芯片的混合性能进行了表征.同时,本文提供了一种小体积、便捷、通用性好的液相混合微芯片的制备方法.

关键词：QCM、SU-8、PDMS、混合、谐振

所属期刊栏目：16

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：973项目:2007CB714502,2007CB93600;上海市科委项目No.0752nm021,0852nm00400,08110700200,08540705800

在线出版日期：2010-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：153-157