静电力驱动的液滴数字传输芯片

摘要：

设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片.通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低.目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动.分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动.

关键词：数字微流芯片、静电力、液滴

所属期刊栏目：16

分类号：TH706;TH79(仪器、仪表)

资助基金：国家973项目"自上而下的微纳制造原理与方法"2006CB300403;863项目"基于自上而下工艺的高灵敏度硅纳米线生物传感器阵列"2007AA03Z308;国家自然基金委创新团队60721004

在线出版日期：2010-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：131-136