新型Al_2O_3/BCB多层薄膜复合介质材料的传输线损耗特性

摘要：

本文结合功能材料Al_2O_3和BCB(苯并环丁烯树脂)的特点,创新性地提出了Si/Al_2O_3/BCB多层薄膜复合结构的衬底,利用Al_2O_3高介电常数的优点和BCB薄膜工艺制备厚度的灵活性实现了低传输损耗.本研究采用与CMOS相兼容的半导体制造工艺在三种不同衬底(Si、Si/BCB和Si/Al_2O_3/BCB)上制作了CPW结构的传输线,通过仿真、测量、比较和分析其传输损耗特性得出Si/Al_2O_3/BCB多层薄膜复合结构衬底有效地降低了普通硅衬底的高频损耗(20GHz时CPW传输线的损耗为1. 18dB/mm),实现了微波毫米波电路低损耗传输线,具有广泛的应用前景.

关键词：Al_2O_3、BCB、CPW、传输损耗

所属期刊栏目：16

分类号：I(文学)

资助基金：新型薄膜微纳无源器件模型及其关键技术问题研究60771058

在线出版日期：2010-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：57-62