共平面低功耗CO气体传感器的设计及制作

摘要：

设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,利用MEMS技术制作了传感器样品.实验测得该传感器对于体积分数为50×10~(-6)CO气体的灵敏度为8.6(R0/R),功耗为82mW,响应时间约5s,恢复时间约22s,该传感器的灵敏度是同种敏感材料烧结型传感器(测体积分数50×10~(-6) CO气体)的2.5倍,而功耗却是同种敏感材料烧结型传感器的1/2,是一种具备了体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低的微结构CO气体传感器.

关键词：低功耗、微结构、CO、气体传感器

所属期刊栏目：15

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：吉林省科技厅资助项口20030322;"低维材料及其应用技术教育部重点实验室"开放课题资助课题KF0706

在线出版日期：2010-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：603-606