Electrical properties of HfTiO Gate Dielectric Ge MOS capacitors with wet-No surface pretreatment

机标关键词：MOS

所属期刊栏目：15

分类号：TM271(电工材料)

资助基金：The work is financially supposed by the National Natural Science Foundation of ChinaGrant no.60776016

在线出版日期：2010-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：599-602