稀土Dy掺杂纳米SnO2薄膜的结构与气敏特性

摘要：

采用真空蒸发法在玻璃衬底上制备稀土Dy掺杂Sn薄膜,对薄膜进行合适的氧化、热处理后获得Dy掺杂SnO2薄膜.用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、静态配气法对薄膜性能进行测试,研究不同掺Dy含量和热处理条件对SnO2薄膜的影响.结果显示,制备的SnO2薄膜呈金红石结构为n型;在相同热处理条件下,Dy掺杂可明显缩短薄膜氧化、热处理的时间;适当掺入稀土Dy可明显改善SnO2薄膜的结构、气敏特性.掺Dy 3at%后可大大提高SnO2薄膜对丙酮气体的灵敏度.

关键词：真空蒸发、SnO2薄膜、Dy掺杂、气敏特性

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：内蒙古自治区自然科学基金项目200607010109;内蒙古自治区高等学校科学研究项目NJ05030

在线出版日期：2009-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：321-326