掺铜SnJO2薄膜的光学气敏特性

摘要：

采用磁控溅射的方法,在玻璃基片上制作出SnO2-Cu-SnO2-Cu-SnO2的5层式多层复合薄膜.并且在常温下使用分光光度计检测出,当它接触到酒精和丙酮气氛的情况下,其反射率在可见光范围的某些波段有变化,气敏特性与纯SnO:薄膜的相似,同时具有更佳的反应效果.

关键词：磁控溅射、SnO2、反射率

所属期刊栏目：15

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2009-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：120-124