新型高灵敏度GLV光学电流传感器设计与性能分析

摘要：

本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器.这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点,且测量芯片制作工艺简单、成本低廉.通过有限元分析和数值计算对器件的模态、工作性能、热膨胀特性等进行了分析模拟,结果表明:测量芯片量程达500A～2000A,并可通过改变设计参数灵活调整;一阶固有频率接近60kHz,大电流下灵敏度接近0.2dB/A,外界温度变化±50K时传感器测试误差在0.7%以内.

关键词：光栅光阀(GLV)、光学电流传感器、双端固支梁

所属期刊栏目：15

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2009-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：39-45