2.4GHz射频薄膜体声波谐振器的研制

摘要：

提出了基于ZnO压电薄膜多层结构的2.4GHz射频薄膜体声波谐振器,并进行了研究.采用修正后的Mason等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟.给出了采用MEMS工艺制备器件的工艺流程,并利用射频网络分析仪对实验器件进行了测试.利用多点数值拟合的方法消除射频测试中引入的寄生分布参数,提取出器件的实际参数:器件的串联谐振频率fs和并联谐振频率fp分别为2.3714GHz和2.3772GHz,相应的有效机电耦合系数为0.598%;串联谐振频率处和并联谐振频率处的Q值分别为500.3和425.5,f·Q值乘积达到1.2×1012.该谐振器器件的有效直径为200μm,样品实际尺寸为1.2mm×1.2mm×0.3mm,可用来制备体积小、高性能和低相噪的射频振荡器.

关键词：薄膜体声波谐振器、振荡器、滤波器、双工器、射频微机电系统

所属期刊栏目：15

分类号：TN015;TN454;TB552(一般性问题)

资助基金：国家自然科学基金资助项目90607012

在线出版日期：2009-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：27-33