基于原子力显微技术的PZT微阵列图形铁电性能

摘要：

应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法,在无顶电极的情况下,直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线.结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电容的电滞回线,并且可以定性地评价薄膜微电容的铁电特性.

关键词：锆钛酸铅、铁电薄膜、电滞回线、微细图形

所属期刊栏目：14

分类号：TB34;TM936.3(工程材料学)

资助基金：国家重点基础研究前期研究专项2003CCA03300;西安应用材料创新基金XA-AM-200611

在线出版日期：2008-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：919-922