气-液-固法在半导体纳米线生长中的应用

摘要：

气-液-固法(VLS)是目前生长各种准一维纳米结构的主要工艺技术.本文首先介绍了VLS的生长原理,然后以生长机制为主线,着重评论了近3-5年内它在ZnO、GaN、Si以及SiC等纳米线及其阵列合成中应用的某些新进展.最后提出了改进VLS方法的几项措施,并展望了它的今后发展趋势.

关键词：气-液-固法、金属催化剂、纳米线与阵列、生长机制

所属期刊栏目：14

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：864-870