PZT压电薄膜无阀微泵

摘要：

介绍了一种基于PZT压电薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件、聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.本文在对微豕制备工艺研究的基础上,对其性能进行了数值和实验研究.建立了基于扩张管/收缩管理论的无阀微泵的有限元模型.利用MFX-AN-SYS/CFX技术实现了对微泵的双向流固耦合分析.对微泵的锥形角、最小宽度、扩散管长度、泵腔高度进行数值计算,得到了优化参数.数值计算的结果与实际测量的数据进行了比较,验证了仿真的正确性.

关键词：微泵、PZT压电薄膜、MFX-ANSYS/CFX、流固耦合

所属期刊栏目：14

分类号：TH323(泵)

资助基金：国家科技支撑计划项目2006BAF04813;国家自然科学基金50675025;教育部和大连市留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2008-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：793-798