离子束辅助沉积铂碳混合膜及其抑制栅电子发射性能

摘要：

采用离子束辅助沉积技术,在硅、钼衬底上分别制备铂碳混合膜.XRD的分析结果表明,当铂碳混合膜中铂的组份较多时,有较强的铂(111)面衍射峰和较弱的铂(200)面衍射峰,铂的组份呈(111)择优取向.Raman谱的分析结果表明,碳基本上呈非晶状态.模拟二极管的实验表明,在纯钼阳极上镀覆铂碳混合膜,其抑制热电子发射的性能明显优于纯钼阳极.

关键词：离子束辅助沉积、铂碳混合膜、栅电子发射

所属期刊栏目：14

分类号：TN124(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目10505027

在线出版日期：2008-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：757-762