一种MEMS压控电容设计及其相位噪声分析

摘要：

给出了一种MEMS压控电容的设计和相位噪声分析结果.在电容器结构中引入衬底金属层以达到控制寄生电容的目的;使用HFSS进行了上极板开孔对电容的影响的仿真,得到了不影响电容值的最佳尺寸是5微米.在恒寄生电容的假设下分析了MEMS压控电容的相位噪声,在SPICE模型基础上使用HSPICE进行了相位噪声仿真,分析发现布朗运动所产生的相位噪声的典型值是-176dBc/Hz,环境声波造成的相位噪声的典型值是-137dBc/Hz.

关键词：MEMS压控电容、可控寄生电容、刻蚀孔、相位噪声

所属期刊栏目：14

分类号：TB308(工程材料学)

在线出版日期：2008-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：539-543