微型电液动力泵的实验

摘要：

本研究在硅片上制作了有平面电极的微型电液动力泵并进行了实验研究.微泵由一组平面电极组成,施加直流电压驱动液体流动.分别采用HFE7100和无水乙醇作为工作流体进行了静压头测试.使用HFE7100时最高可以得到1050Pa的压头.

关键词：电液动力泵、MEMS、离子拖曳

所属期刊栏目：14

分类号：TB308(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金50676001

在线出版日期：2008-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：508-511