MEMS微型双稳态电磁继电器的设计

摘要：

本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点,采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法,研制了一种快速低功耗MEMS微型双稳态继电器结构,其尺寸约为3mm*4.5mm*1.5mm,文中着重分析其工作原理和过程.经过分析,该继电器在通电电流80～120mA时,开关时间约在0.1ms～0.2ms之间,因此,其具有体积小、开关速度快、低功耗等优点,并且易于集成和阵列,适用于能源有限并且可靠性要求高的微型航天器以及便携设备中.

关键词：微机械系统、微继电器、平面螺旋线圈、微机械加工工艺

所属期刊栏目：14

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2008-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：500-503